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半导体工艺监测中的光谱运用助力提高芯片质量和产值

发布时间:2022-09-17 01:00:19 来源:环球体育拉齐奥网址最新app下载

  依据检测工艺所在的环节,IC集成电路检测被分为规划验证、前道量检测和后道检测。在这个进程中,光谱仪能够用于膜厚丈量、蚀刻结尾监控等工艺中。

  依据检测工艺所在的环节,IC集成电路检测被分为规划验证、前道量检测和后道检测。前道量测、检测均会用到光学技术和电子束技术,其间光学量测经过剖析光的反射、衍射光谱直接进行丈量,其长处是速度快、分辨率高、非破坏性。后道检测工艺是芯片出产线的“质检员”,依据工艺在封装环节的前后次序,后道检测能够分为CP测验和FT测验。

  半导体集成电路的出产以数十次至数百次的镀膜、光刻、蚀刻、去膜、平整等为首要工序,膜层的厚度、均匀性等直接影响芯片的质量和产值,在加工中有必要不断地检测及操控膜层的厚度。光学薄膜测厚仪是半导体出产流程中必不可少的设备之一,用于对芯片晶圆及相关半导体资料的镀膜厚度等进行检测。

  半导体光学薄膜测厚仪技术首要有光谱反射仪和椭偏仪两种。椭偏仪考虑了光的极化,选用P波和S偏振反射光之间的相位差异,适用于十分薄的薄膜,并可直接测验N,K值。光谱反射仪尽管没有椭偏仪的这些功能,但也能丈量数纳米以下的薄膜厚度,丈量精度高,并且丈量速度较快。

  根据光波的干与现象,光束照射在薄膜外表,因为入射介质、薄膜资料和基底资料具有不同的折射率值和消光系数值,使得光束在通明/半通明薄膜的上下外表发生反射,反射光波彼此干与,然后构成干与光,这些干与光在不同相位处的强度将跟着薄膜的厚度发生变化。经过对干与光的检测,结合恰当的光学模型即可核算得到薄膜的厚度。

  海洋光学(Ocean Insight)膜厚仪检测体系,装备有采样渠道、UV-VIS反射探头,装备如下。

  在根据等离子体的蚀刻工艺中,等离子体监测对工艺操控很重要。晶圆是用光刻技术制作和操作的,蚀刻是这一进程的首要部分,在这一进程中,资料能够被分层到一个十分详细的厚度。当这些层在晶圆外表被蚀刻时,等离子体监测被用来盯梢晶圆层的蚀刻,并确认等离子体何时彻底蚀刻了一个特定的层并抵达下一个层。经过监测等离子体在蚀刻进程中发生的发射线,能够准确盯梢蚀刻进程。这种结尾检测关于运用根据等离子体的蚀刻工艺的半导体资料出产至关重要。

  等离子体监测能够经过灵敏的模块化设置完结,运用高分辨率光谱仪,如海洋光学的HR或Maya2000 Pro系列(后者是检测UV气体的一个很好的挑选)。关于模块化设置,HR光谱仪能够与抗曝光纤相结合,以取得在等离子体中构成的定性发射数据。从等离子体室中构成的等离子体中获取定性发射数据。假如需求定量丈量,用户能够添加一个光谱库来比较数据,并快速辨认不知道的发射线、峰和波段。

  紫外-可见-近红外光谱是丈量等离子体发射的有力办法,以完成元素剖析和根据等离子体进程的准确操控。这些数据说明晰模块化光谱法对等离子体监测的才能。Maya2000 Pro在紫外光下有很好的呼应。别的,光谱仪和子体系能够被集成到其他设备中,并与机器学习东西相结合,以完成对等离子体室条件更杂乱的操控。

  在半导体范畴中的光谱运用是海洋光学的未来事务侧重点之一。从Ocean Optics更名为Ocean Insight,也是海洋光学从光谱产品出产商转型为光谱解决计划供给商战略调整的开端。海洋光学不只持续丰厚扩大光传感产品线,且增强支撑和服务才能,为需求定制计划的客户供给量身定制的体系化解决计划和运用辅导。作为海洋光学官方授权合作伙伴,爱蛙科技(iFrog Technology)致力于与海洋光学携手一起协助客户面临问题、探究未来课题,为打造量身定制的光谱解决计划而尽力。

  海洋光学(Ocean Insight)作为世界领先的光学解决计划供给商,运用于半导体、照明及显现、工业操控、环境监测、生命科学生物、医药研讨、教育等范畴。其产品包含光谱仪、化学传感器、计量检测设备、光纤、透镜等。作为光纤光谱仪的发明者,现在海洋光学在全球已售出超越40万套的光纤光谱仪。

  爱蛙科技(iFrog Technology)是海洋光学官方授权合作伙伴,供给光谱剖析仪器出售、租借、保护,以及解决计划定制、软件开发在内的全链条一站式精准服务。

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